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ThermoRack 1201/1801

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SEMISTAR-M101

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3軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

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SEMISTAR-M201

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SEMISTAR-M112

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SEMISTAR-M122

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SEMISTAR-M124

株式会社安川電機

2ブレード先端回転軸付き5軸 水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

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SEMISTAR-MR124

株式会社安川電機

2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

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