カテゴリー
- 真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)
- オーリング
- シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- サセプタ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン(半導体グレード)
- SASU(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル/光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- ヒータ(蒸着装置向け)
- サセプタ(半導体にも追加)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ/ディスペンサ
- ノズル(スプレーノズル、スリットノズルなどを含む)
- インクジェットヘッド(ノズル)
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン(半導体グレード)
- SUS(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト/現像液
- KrFレジスト/現像液
- ArFレジスト/現像液
- ArF液浸レジスト/現像液
- EUVレジスト/現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他)
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート(パッケージ基板)/インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング/ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板(液晶)
- ガラス基板(OLED用)
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材(カラーレジスト/顔料)、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料(SiO2):CVDガス材料、ポリイミド(樹脂)
- 液晶材料
- スペーサ材料(シリコン球)
- シール(封止)材(接着剤)/メインシール材/仮接着剤
- 液晶注入口封止材(紫外線硬化樹脂材料)
- 偏光フィルム
- 基板(仮配置基板)
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材(有機膜)
- 正孔輸送層材(有機膜)
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料(蒸着用)
- 蒸着材料
SEMISTAR-M101
3軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット
適用ウェーハサイズは200mm/300mm、対応FOUP数は4FOUP。
当社独自の構造により、搬送精度の向上、高速で滑らかな搬送を実現
電源投入時の原点復帰が不要で高い信頼性を確保
走行軸 TLシリーズに搭載することで、3FOUP、4FOUPにも対応可能。
TLシリーズは、摺動面がリニアガイドのみのACリニアモータによるダイレクト駆動のリニア走行軸。クリーンロボットを搭載できる高い可搬質量 (45 kg)と広い動作範囲、低騒音、低速から高速動作でも高い位置決め精度を実現しました。
基本情報
適用ウエハサイズ 200 mm/300 mm
対応エンドエフェクタ 真空吸着/エッジグリップ
標準エンドエフェクタ長 295 mm
構造 水平多関節 (3自由度)
アーム方式 単腕
可搬質量 1kg
動作範囲 R軸(伸縮) 650 mm
θ軸(旋回) 6.28 rad、360°
Z軸(昇降) 380 mm
B軸(先端回転) -
最小旋回直径 φ475 mm
最大速度 R軸(伸縮) 4.36 rad/s、250°/s
θ軸(旋回) 5.76 rad/s、330°/s
Z軸(昇降) 300 mm/s
リニア -
位置決め精度 R軸(伸縮) 0.1 mm(P-P)
θ軸(旋回)?5 0.1 mm(P-P)
Z軸(昇降) 0.1 mm(P-P)
B軸(先端回転) -
クリーン度 ISOクラス1
本体概略質量 37 kg
取扱企業
株式会社安川電機
業種:繊維 所在地:福岡県 北九州市八幡西区黒崎城石 2-1
i3-Mechatronicsのコンセプトのもと、サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットなどを強化
安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オートメーションの安川”を経て、“メカトロニクスの安川”へ、つねに時代の主力となる事業を支え続けてきました。新たなソリューションコンセプト「i3-Mechatronics(アイキューブメカトロニクス)」を提唱しています。サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットのコア事業の強化を進めています。
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