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SEMISTAR-M101

株式会社安川電機
最終更新日: 2020年07月30日

3軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

適用ウェーハサイズは200mm/300mm、対応FOUP数は4FOUP。
当社独自の構造により、搬送精度の向上、高速で滑らかな搬送を実現
電源投入時の原点復帰が不要で高い信頼性を確保
走行軸 TLシリーズに搭載することで、3FOUP、4FOUPにも対応可能。
TLシリーズは、摺動面がリニアガイドのみのACリニアモータによるダイレクト駆動のリニア走行軸。クリーンロボットを搭載できる高い可搬質量 (45 kg)と広い動作範囲、低騒音、低速から高速動作でも高い位置決め精度を実現しました。

基本情報

適用ウエハサイズ 200 mm/300 mm
対応エンドエフェクタ 真空吸着/エッジグリップ
標準エンドエフェクタ長 295 mm
構造 水平多関節 (3自由度)
アーム方式 単腕
可搬質量 1kg
動作範囲 R軸(伸縮) 650 mm
θ軸(旋回) 6.28 rad、360°
Z軸(昇降) 380 mm
B軸(先端回転) -
最小旋回直径 φ475 mm
最大速度 R軸(伸縮) 4.36 rad/s、250°/s
θ軸(旋回) 5.76 rad/s、330°/s
Z軸(昇降) 300 mm/s
リニア -
位置決め精度 R軸(伸縮) 0.1 mm(P-P)
θ軸(旋回)?5 0.1 mm(P-P)
Z軸(昇降) 0.1 mm(P-P)
B軸(先端回転) -
クリーン度 ISOクラス1
本体概略質量 37 kg

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取扱企業

株式会社安川電機

業種:繊維  所在地:福岡県 北九州市八幡西区黒崎城石 2-1

i3-Mechatronicsのコンセプトのもと、サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットなどを強化

安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オートメーションの安川”を経て、“メカトロニクスの安川”へ、つねに時代の主力となる事業を支え続けてきました。新たなソリューションコンセプト「i3-Mechatronics(アイキューブメカトロニクス)」を提唱しています。サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットのコア事業の強化を進めています。
 

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