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SEMISTAR-M112

株式会社安川電機
最終更新日: 2020年07月30日
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4軸水平多関節先端回転軸付き単腕ウェーハハンドリングロボット

対応ウェーハは200mm/300mm。2FOUP対応。
先端回転軸の採用により、走行軸なしで2FOUPシステムや並列2プロセスシステムへの適用が可能となっています。
電源投入時の原点復帰が不要で高い信頼性を確保しています。
ISOクラス 1

基本情報

形式 XU-RC400M-C03
適用ウエハサイズ 200 mm/300 mm
対応エンドエフェクタ 真空吸着/エッジグリップ
標準エンドエフェクタ長 355 mm
構造 水平多関節 (4自由度)
アーム方式 単腕
可搬質量 1 kg
動作範囲 R軸(伸縮) 737 mm
θ軸(旋回) 5.79 rad、332°
Z軸(昇降) 355 mm
B軸(先端回転) 6.11 rad、350°
最小旋回直径?4 φ600 mm
最大速度 R軸(伸縮) 4.49 rad/s、257°/s
θ軸(旋回) 4.49 rad/s、257°/s
Z軸(昇降) 300 mm/s
リニア 1100 mm/s
位置決め精度 R軸(伸縮) 0.1 mm(P-P)
θ軸(旋回) 0.1 mm(P-P)
Z軸(昇降) 0.1 mm(P-P)
B軸(先端回転) 0.1 mm(P-P)
クリーン度? ISOクラス1
本体概略質量 55 kg

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取扱企業

株式会社安川電機

業種：繊維  所在地：福岡県 北九州市八幡西区黒崎城石 2-1

i3-Mechatronicsのコンセプトのもと、サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットなどを強化

安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オートメーションの安川”を経て、“メカトロニクスの安川”へ、つねに時代の主力となる事業を支え続けてきました。新たなソリューションコンセプト「i3-Mechatronics（アイキューブメカトロニクス）」を提唱しています。サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットのコア事業の強化を進めています。
　

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