半導体製造装置関連部品の製品一覧

半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品

ACTRANS UTC-R800

株式会社ダイヘン

旧MECS社UTC-800の復刻版

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ACTRANS UT-AFX/W4000 シリーズ

株式会社ダイヘン

～300mmウエハ用高可搬モデル

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●UTX/W-RF5500RW

株式会社ダイヘン

～300mmウエハ用防滴モデル

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UT-AFX/W3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ対応標準ロボット

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UTVW-R2800H

株式会社ダイヘン

DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット

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ACTRANS UT-VFX3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット

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