半導体製造装置関連部品の製品一覧

半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品

SEMISTAR-M122

株式会社安川電機

2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕クリーンロボット

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SEMISTAR-M124

株式会社安川電機

2ブレード先端回転軸付き5軸 水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

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SEMISTAR-MR124

株式会社安川電機

2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

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NTS-20

川崎重工業株式会社

5軸構造水平多関節ダブルアームウェーハハンドリングロボット

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TTS-20

川崎重工業株式会社

(テレスコピック機構)5軸構造水平多関節ダブルアーム・ウェーハハンドリングロボット

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AR-Wn230CL

平田機工株式会社

軽量化・省スペース、高速搬送を実現。450mm ウェーハ搬送大気ロボット

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AR-Wn180CL-4-T-330

平田機工株式会社

300mmウェーハ対応大気搬送ロボット

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大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940

平田機工株式会社

多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット

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UTM-R3700F

株式会社ダイヘン

6軸垂直多関節型ロボット(大気ロボット)

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UTW-REH5500

株式会社ダイヘン

4軸円筒座標系高速ウェーハ搬送ロボット

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