半導体製造装置関連部品の製品一覧
SEMISTAR-M201
株式会社安川電機
4軸水平多関節双腕ウェーハハンドリングロボット
SEMISTAR-M112
4軸水平多関節先端回転軸付き単腕ウェーハハンドリングロボット
SEMISTAR-M122
2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕クリーンロボット
SEMISTAR-M124
2ブレード先端回転軸付き5軸 水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット
SEMISTAR-MR124
2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット
NTS-20
川崎重工業株式会社
5軸構造水平多関節ダブルアームウェーハハンドリングロボット
TTS-20
(テレスコピック機構)5軸構造水平多関節ダブルアーム・ウェーハハンドリングロボット
AR-Wn230CL
平田機工株式会社
軽量化・省スペース、高速搬送を実現。450mm ウェーハ搬送大気ロボット
AR-Wn180CL-4-T-330
300mmウェーハ対応大気搬送ロボット
大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940
多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット
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