半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

iOV dX1

isacresearch

Best for Small Lab

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SENSE.I

Lam Research

高感度の新素材と複雑なアーキテクチャーの課題に対応する新装置

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FOUP/FOSB寸法測定装置

株式会社清和光学製作所

FOSB寸法測定装置 ”セルフィ―”発売

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アクティブ除振ユニット【空圧制御】A type

倉敷化工株式会社

アクティブ制御とジンバルピストン機構により全周波数帯での優れた除振性能を発揮します。

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アクティブ除振ユニット【リニアモーター制御】LHKP type 制振リニアアクティブ除振台

倉敷化工株式会社

リニアモーター制御と空圧制御の両方の長所を追求した最高性能の除振台

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ウエハー3D検査シリーズ

株式会社清和光学製作所

多種3D検査装置を提案します。

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ボンディングWaferズレ検査装置

株式会社清和光学製作所

【概要】 両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。 表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。 また、…

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Harrier-M

Eugene Technology

ミニバッチ式ALD装置

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SDP CVD

Jusun Engineering

プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置

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