半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

精密研磨装置 MAシリーズ

ムサシノ電子株式会社

試料ホルダーを用いて最適な研磨加工をご提案致します。 研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP…

UTM-MIシリーズ

株式会社アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

ENTRON N300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

ENTRON-EX2 W300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

Segul

株式会社アルバック

GaNスパッタリングモジュール

IH-860DSIC

株式会社アルバック

SiC用高温イオン注入装置

枚葉式複合モジュール型成膜加工装置　uGmni-200, 300

株式会社アルバック

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

FlexAL（Oxford Instruments社製）

株式会社アルバック

リモートプラズマ原子層堆積（ALD）プロセスおよび熱ALDの両方を実現

PlasmaPro100ALE（Oxford Instruments社製）

株式会社アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

Atomfab（Oxford Instruments社製）

株式会社アルバック

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション