半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

UTM-MIシリーズ

株式会社アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

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ENTRON N300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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ENTRON-EX2 W300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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Segul

株式会社アルバック

GaNスパッタリングモジュール

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

SiC用高温イオン注入装置

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枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300

株式会社アルバック

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

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FlexAL(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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PlasmaPro100ALE(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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Atomfab(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション

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LR/HR/UR シリーズ

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

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