半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

Primo iDEA

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

チップエッチングとフォトレジスト除去のための革新的な統合ソリューションを提供する。デュアル反応プラットフォームエッチングおよび接着剤除…

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Primo SSC AD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

シングルリアクションスタンド誘電体エッチング製品。1つのプラットフォームに6つのシングルリアクションスタンドを統合することにより、生産能…

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Primo AD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

40~7nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する

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Primo D-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

6~16nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する

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MBMW-101(IMS Nanofabrication GmbH製品)

日本電子株式会社

マルチビーム電子線描画装置

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「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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「ACTIS A150」

レーザーテック株式会社

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

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マニュアルプローバー α200CS

株式会社アポロウエーブ

-60℃~+350℃の温度特性評価、微小電流測定対応モデル

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セミオートプローバー AP-200

株式会社アポロウエーブ

-60℃~+350℃の温度特性評価、微小電流測定 20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応

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マニュアルプローバー α100

株式会社アポロウエーブ

4インチウエハまでのIV/CV測定に最適な小型のプローバです。

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