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角型真空ゲートバルブ　UXG/LG

株式会社キッツエスシーティー
最終更新日: 2020年12月14日

高温、高い均熱性能を特長としたバルブ

◎高温加熱することができるため、コンタミネーションの蓄積とシートの固着を減らし、メンテナンス期間を大幅に延長することができます。
◎ボディヒーターと弁体ヒーターは別チャンネルであり、内部と外部の温度を個々に設定できます。
◎バルブを開閉作動する時に、パーティクルが発生しにくい無摺動構造を持っています。
◎駆動用エアーが途絶えるなどの緊急時の場合、バルブクローズを保つラッチロック機構を備えております。
◎流体温度及び流体との相性により、ゲートの O リング材質として、フッ素ゴム・KALREZ® *1・Chemraz® *2 等を用意しております。

基本情報

主な仕様
サイズ 12"(300mm タイプ )
使用圧力 1x10-6 Pa ～ 0.101 MPa(abs)
弁座耐差圧 0.101 MPa(正逆圧 )
ベローズ耐圧 0.02 MPa(G)
弁開閉許容差圧 1.3 KPa
検査リーク量
　　内部リーク 1x10-10 Pa・m3/sec 以下 (室温30秒間)
1x10-5 Pa・m3/sec 以下 (加熱時30秒間)
　　外部リーク 外部許容リーク量：1x10-10 Pa・m3/sec 以下
操作方式 複動エアーシリンダー
弁操作圧力 0.5 ～ 0.7 MPa(G)
開閉時間 0.8 ～ 2sec（オリフィス制御）
(操作圧力 0.5MPa) 1.5 ～ 2sec（スピードコントローラ付）
ヒーター設定最高温度 180℃
　　※ 160℃（※ゲートシール材がフッ素ゴムの場合）
昇温到達時間 最高設定温度にて1.5hr 以内で設定温度に到達
耐熱温度 210℃（ヒーター仕様）
60℃（ヒーター無仕様）
絶縁抵抗 DC500Vにて10MΩ以上
ベローズ寿命 100万回
パーティクル性能(参考値) １サイクルあたり粒径サイズ0.1μm以上のパーティクル数が0.3個以下

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取扱企業

株式会社キッツエスシーティー

業種：機械要素・部品  所在地：東京都 大田区大森北 1-5-1

より良い品質とサービスで、お客様の信頼にお応え致します。

キッツエスシーティーは、バルブ総合メーカー「キッツグループ」の一員として、半導体プロセス用バルブをはじめとする流体制御機器、装置の開発、製造、販売、サービスを一貫体制でお客様の要望にお応え致します。
また、社会からの信頼を大切にして環境保全とコンプライアンス経営を基本として地球環境に優しい製品開発と生産活動をすることをお約束します。

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