半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット

MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)

Brooks Automation Inc.

高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

MagnaTranR 8 QuadraFly

Brooks Automation Inc.

ハイ スループットの小型コンテインメント アプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換

MagnaTran 8 Radius

Brooks Automation Inc.

積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット

真空対応 AR-Wnシリーズ：AR-Wn220VDCL-4-T-100

平田機工株式会社

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富

真空対応 AR-Wnシリーズ

平田機工株式会社

AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…

TANDUO（SEMICON Japan 2020 Virtual出展）

Kokusai Electric株式会社

プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。

MARORA

Kokusai Electric株式会社

次世代DRAM、ロジックのゲート絶縁膜形成、フラッシュメモリの絶縁膜形成に最適な枚葉プラズマ窒化・酸化装置

Lambda300

Kokusai Electric株式会社

ダメージレスなプラズマ処理と高速アッシングを実現した枚葉式アッシング装置

AD3000T-PLUS

株式会社東京精密

12インチ対応 フルオートマチックダイシングマシン 当社コアを駆使した世界最小フットプリント、高スループットと高加工品質により優れたCoO(Co…