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ALDプロセス用バルブ「TDFシリーズ」

株式会社キッツエスシーティー

TDFシリーズは、ALD（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた、高純度ガス対応のバルブです。

角型真空ゲートバルブ　UXG/LG

株式会社キッツエスシーティー

高温、高い均熱性能を特長としたバルブ

TBN溶着継手用溶着機　PWM-120 Series

株式会社キッツエスシーティー

PFA製チューブおよびTBシリーズ継手を溶着する装置として、これまでの当社の溶着作業経験を反映した溶着機

Si Deep RIE System（SEMICON Japan 2020 Virtual出展）

SPPテクノロジーズ株式会社

シリコン深掘り装置　

新型高速レビューSEM「CR7300」（MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展）

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…

欠陥形状評価SEM 「CT1000」（MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）

株式会社日立ハイテク

、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…

DIS100

株式会社ディスコ

ダイシング後のチップ品質管理を全自動で実現する

DFG8030

株式会社ディスコ

ストリップ用の搬送機構を備えた全自動グラインダ

DFG8020

株式会社ディスコ

最大390×390 mmサイズのパネルレベルパッケージに対応する全自動グラインダ

卓上型マルチワイヤーボンダー（ボール＆ウエッジ兼用型） 7KE（WESTBOND社製）

ハイソル株式会社

ボールボンディング、ウエッジボンディング、バンプボンディング、リボンボンディング、TABボンディング等、あらゆるボンディングに対応した卓上…