半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

CR6300

株式会社日立ハイテク

高速ADR、高精度ADCにより、歩留まり改善に貢献するインライン対応欠陥レビューSEM

Mirelis VM1000

株式会社日立ハイテク

SiCウェーハの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現したミラー電子式検査装置

LSシリーズ

株式会社日立ハイテク

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは，パターンなし（鏡面）シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

ISシリーズ

株式会社日立ハイテク

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

半導体評価装置　リユース装置

株式会社日立ハイテク

測長SEMを中心にリユース装置を販売しております。

チラー（Chiller）

株式会社日立ハイテク

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造…

M-600/6000シリーズ（SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社日立ハイテク

コンダクターエッチング装置　M-600/6000シリーズは、デジタルモバイル機器、白物家電製品、自動車、鉄道などに用いられるパワー半導体のシリコ…

CS4800

株式会社日立ハイテク

4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEM

イオンミリング装置 ArBlade 5000（SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）

株式会社日立ハイテク

日立イオンミリング装置の最上位機種。 ついにクラス最速の断面ミリングレート を達成しました。

新型高速レビューSEM「CR7300」（MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展）

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…