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CS4800

4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEM

 高分解能FEB測長装置(CD-SEM) CS4800 は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMで、当社がこれまで培った最先端の計測技術を搭載することにより、二次電子分解能および計測再現精度を向上しています。また計測オペレーションを自動化することで、お客様の既存ラインの生産性向上に寄与します。さらに、簡易な切替え作業により、最大2種類のウェーハサイズの自動搬送が可能であるとともに、炭化ケイ素(SiC)や窒素ガリウム(GaN)などさまざまな材質に対応し、多品種量産の半導体デバイス生産に貢献いたします。

・既存装置との置き換えおよび併用を考慮した装置寸法とGUI
・最先端装置開発で培った高精度計測技術および最新の計測アプリケーションを搭載
・光学軸調整作業の自動化により、オペレーターの熟練度による測長ばらつきを低減
画像処理技術の向上によりレシピでの自動計測を実現し、スループットを向上
・4、6、8インチのマルチウェーハサイズに対応した新規ウェーハ搬送システム

基本情報

計測再現性 1nm(3σ)(当社標準ウェーハ・測定条件時)
対応ウェーハサイズ 直径 100mm, 150mm, 200mm
オートローダー 2ポート
装置寸法(本体部) 1180(W)× 2500(D)× 1990(H)mm

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取扱企業

株式会社日立ハイテク

業種:繊維  所在地:東京都 港区虎ノ門虎ノ門ヒルズビジネスタワー9階 1-17-1 虎ノ門ヒルズビジネスタワー9階

「見る・測る・分析する」技術で産業界に貢献

同社は「見る・測る・分析する」というコア技術をその時々の最先端分野の課題を解決できるレベルにまで引き上げ、半導体産業に貢献してきた。現在は独自のプラズマ技術を応用したエッチング装置、微細パターンの検査に利用されるEB測長装置で世界的な実績を残している。

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