半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

S-UHE

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

高エネルギーイオン注入装置のグローバルスタンダード

MC3-Ⅱ

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

最新鋭・高性能の中電流イオン注入装置

SHX-Ⅲ

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

極低エネルギーイオン注入を可能にした高電流イオン注入装置

NV-GSDⅢ-180

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

多様なアプリケーションに対応可能な、後段加速付高電流イオン注入装置の デファクトスタンダード

Exceed400HY

日新イオン機器株式会社

パワーデバイス向け水素注入装置

Exceed9600AH

日新イオン機器株式会社

高エネルギーイオン注入装置

Exeed3000AHシリーズ

日新イオン機器株式会社

ハイコストパフォーマンスな中電流イオン注入装置

Purion-XE

Axcelis Technology

高エネルギーイオン注入装置の業界標準

Purion-H

Axcelis Technology

多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置

Purion Mシリーズ

Axcelis Technology

高い生産性と高精度を両立させた中電流イオン注入装置