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Mirelis VM1000

株式会社日立ハイテク

SiCウェーハの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現したミラー電子式検査装置

LSシリーズ

株式会社日立ハイテク

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは，パターンなし（鏡面）シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

ISシリーズ

株式会社日立ハイテク

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

CS4800

株式会社日立ハイテク

4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEM

AXCELA PVD

Applied Materials,Inc

200mm/300mmウェーハ対応配線用量産スパッタリング装

ENDURA ALPSR PVD (ALPS CO & NI)

Applied Materials,Inc

高アスペクト比のゲートやコンタクトアプリケーション向けに、シンプルかつ高性能なシリサイドソリューションを提供します。

A412 PLUS／A400

ASM International NV

A412：300mmウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置 A400：200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置

AdvancedAce-300

Kokusai Electric株式会社

高生産性縦型装置

TSURUGI-C2 剱

Kokusai Electric株式会社

次世代デバイス、特に3次元（立体構造）デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900

ジェイテクトサーモシステム株式会社

シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…