ウェーハの製品一覧




300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900
シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…
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Prismo D-BLUE®
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
LEDエピタキシャルウェーハの大量生産のためにLED生産ラインに採用された国内最初のMOCVD装置
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