層間絶縁膜の製品一覧
高周波パワーアンプ向け3 次元インダクタ素子に関する層間膜プロセスの開発
グローバルネット株式会社
住友電気工業株式会社、新江 定憲
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新電解技術による層間絶縁膜上へのRu 結晶核の形成
グローバルネット株式会社
KMP研究所、岩津 春生
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