洗浄装置の製品一覧
SU-3300
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集
SS3200
最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現
SS-3100
処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能
SU-3200
12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現
SU2000
ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現
SU3100
FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応
SS-80EX
豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ
WET洗浄装置
株式会社FEBACS
100mm角の実験機から2,000mm以上の量産機まで対応!カスタマイズ装置の実績多数あり。弊社工場でのサンプルテストも受付中。
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当社は、半導体等電子部品製造装置の製造及び販売を行っております。当社は全半導体製造装置市場の数パーセント程度の市場ですが成長が期待でき…
PHT 株式会社
PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。 特徴 PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機…
株式会社 大浩
長年にわたる半導体製造装置や多様な業界で使用される検査装置、医療機器などの精密機器装置の受託製造にて培ったノウハウにより、設計から調達…
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