洗浄装置の製品一覧

SU-3300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

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SS3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SS-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能

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SU-3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SU2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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SU3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

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SS-80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

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WET洗浄装置

株式会社FEBACS

100mm角の実験機から2,000mm以上の量産機まで対応!カスタマイズ装置の実績多数あり。弊社工場でのサンプルテストも受付中。

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