洗浄装置の製品一覧
SS3200
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現
SS-3100
処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能
SU-3200
12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現
SU2000
ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現
SU3100
FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応
SS-80EX
豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ
WET洗浄装置
株式会社FEBACS
100mm角の実験機から2,000mm以上の量産機まで対応!カスタマイズ装置の実績多数あり。弊社工場でのサンプルテストも受付中。
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「洗浄装置」の関連企業一覧
株式会社 カナメックス
株式会社カナメックス エレクトロニクス事業部は設立以来、半導体業界におけるフォトリソ関連の ウェット処理プロセス装置の設計・製作をしてま…
ナノテック 株式会社
当社の洗浄装置は、半導体製造におけるクオリティと効率を大幅に向上させるための最適なソリューションです。皆様のビジネスの成功に貢献できる…
株式会社 サムコ
当社は、半導体等電子部品製造装置の製造及び販売を行っております。当社は全半導体製造装置市場の数パーセント程度の市場ですが成長が期待でき…
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