洗浄の製品一覧

WS-620C/ WS-820L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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FC-821L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

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CW2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置

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CW1500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

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SU-3300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

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SS3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SS-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能

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SU-3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SU2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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