露光の製品一覧

SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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ウェハ直描加工

東洋精密工業株式会社

フォトマスクを使用せずにウェハ上にダイレクト露光いたします。

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DW-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

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DW-6000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

優れた生産性と高解像度露光を両立した大型パネル用直接描画露光装置

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