バリの製品一覧
A/AXシリーズ
THK株式会社
高精度でバリエーションが豊富 さまざまな用途に対応可能な精密ステージ データダウンロード
真空対応 AR-Wnシリーズ
平田機工株式会社
AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…
真空対応 AR-Wnシリーズ:AR-Wn220VDCL-4-T-100
300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富
CME-200/400
株式会社アルバック
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。
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