半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

EVGR320 D2W

EV Group

直接配置式ダイ・トゥ・ウェーハ（D2W）接合向け業界初の商用ハイブリッド接合用活性化・洗浄装置

表面活性化接合タイプ常温接合装置

株式会社ムサシノエンジニアリング

基礎研究の用途から量産まで、幅広い用途での装置設計が可能

PFSシリーズ

株式会社アルバック

SiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。