パーティクル削減したいの製品一覧

シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

PHT株式会社

ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

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EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

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枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送装置

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハカセットチェンジャー

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

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大口径ノンスピルカップリング『TCH』

ストーブリ株式会社

残圧下6barまで接続が可能!着脱時の液だれほぼ無しを実現!ハンドルを回して簡単着脱の大口径カップリング!(25A~50A)

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水冷回路 自動調芯ブラインドメイト仕様 ノンスピルカップリング『CGD』

ストーブリ株式会社

チャンバーLIDやテストハンドラの水冷に適した、最大±1mmの芯ずれを補正するブラインドメイト仕様(ロック機構なし)のコネクタです。 コネクタ…

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ステンレス製ノンスピルカップリング『DAG』

ストーブリ株式会社

ノンスピル構造、押し込むだけで片手で接続できるオートマチック・ボールロックを備えた、コンパクトな水冷用途専用のクイックカップリングです…

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ステンレス製ノンスピルカップリング『MCB』

ストーブリ株式会社

ノンスピル構造、オートマチック・ボールロックを備えた高性能カップリングです。 豊富なオプション設定がございます。 耐極低温(-100℃ま…

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