半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

ボンディングWaferズレ検査装置

株式会社清和光学製作所

【概要】 両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。 表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。 また、…

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Harrier-M

Eugene Technology

ミニバッチ式ALD装置

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SDP CVD

Jusun Engineering

プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置

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HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

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HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

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GEMINI ALD

WONIK

高品質な酸化膜、窒化膜形成に対応したALD装置

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NOA ALD

WONIK

メタル形成用ALD装置

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ALTUS

Lam Research

CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜する

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STRIKER

Lam Research

高生産性ALD装置

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