エッチング装置の製品一覧

ミニマルメタルエッチングプロセスの開発と特性評価
グローバルネット株式会社

注目

産総研、田中 宏幸

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エッチング装置用大口径シリコンインゴット

株式会社豊港

豊港化学では、大口径φ250~φ600のシリコンインゴットを取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconduc…

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ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料(強誘電体、貴金属、磁性膜等)のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

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NLD-5700

株式会社アルバック

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

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NLD-570

株式会社アルバック

研究開発向けNLDドライエッチング装置

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NE-5700/NE-7800

株式会社アルバック

量産用ドライエッチング装置

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APIOS NE-950EX

株式会社アルバック

LED向け量産専用ドライエッチング装置

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NE-550EX

株式会社アルバック

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

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CE-L

株式会社アルバック

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。

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9000シリーズ

株式会社日立ハイテク

次世代デバイスプロセスに対応するため、コンダクターエッチング装置 9000シリーズでは、インターフェースを統一し、高精度にモジュール化した…

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