エピタキシャル成長の製品一覧
GaN 自立基板上に作製したmist-Al2O3/n-GaN 構造の評価
グローバルネット株式会社
熊本大、谷田部 然治
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MEMS デバイス適用へ向けた極厚膜低ストレスLPCVD Poly-Si 膜の膜厚方向の電気抵抗評価
グローバルネット株式会社
株式会社KOKUSAI ELECTRIC、鋪田 嚴
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ホモエピタキシャル成長n 型GaN において電子線照射によりEC − 1 eV 付近に形成される窒素変位関連トラップの熱アニール挙動
グローバルネット株式会社
名大、遠藤 彗 堀田 昌宏(本研究に関する問合せ先)
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ホモエピタキシャル成長n 型GaN 中の格子間窒素が形成する2 つの準位の特定
グローバルネット株式会社
名大、遠藤 彗 堀田 昌宏(本研究に関する問合せ先)
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