半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

ウェーハ搬送装置

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

ウェーハカセットチェンジャー

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

次世代半導体実装用特殊キャリア「HRDP」

三井金属鉱業株式会社

L/S=2/2μm以下の超高密度設計を実現できる特殊キャリア

自動式クリーンオーブン

大村技研株式会社

ウエハキャリア乾燥