パーティクルの製品一覧
膜付ウェーハ
株式会社豊港
豊港化学では、膜付ウェーハなどの製品を取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/film-coate…
ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)
PHT株式会社
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
EFEM・ソータ
クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置
キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
ウェーハ搬送装置
キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
ウェーハカセットチェンジャー
ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
大口径ノンスピルカップリング『TCH』
ストーブリ株式会社
残圧下6barまで接続が可能!着脱時の液だれほぼ無しを実現!ハンドルを回して簡単着脱の大口径カップリング!(25A~50A)
水冷回路 自動調芯ブラインドメイト仕様 ノンスピルカップリング『CGD』
チャンバーLIDやテストハンドラの水冷に適した、最大±1mmの芯ずれを補正するブラインドメイト仕様(ロック機構なし)のコネクタです。 コネクタ…
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