CSの製品一覧

SOI SiSi 薄膜SOI MEMS用基板ウエハー ファウンドリーサービス

アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

100-200mmの貼付ウエハー(SOI,SiSi)や誘電体分離や高アスペクト比の深いトレンチエッチなどカスタム品を提供します

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RS-evo

上野精機株式会社

12インチウェハーにも対応したWLCSP、ベアダイ向けのウェーハピックアップ型高速ハンドラ

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PPS-8200/8300

株式会社オーク製作所

WL-CSP,IGBT,CIS等の多様なアプリケーションに対応したリソグラフィシステム(6/8/12インチ対応)。

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PARAGON ULTRA 300

Orbotech

FC-BGA/FC-CSPやBGA/CSP基板向けDI装置

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半導体研磨用CMPパッド

SKC Solmics

NAND製造メモリ向けパッド

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VERTEXR Revolution/Ⅲ

Kokusai Electric株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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CS4800

株式会社日立ハイテク

4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEM

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TSURUGI-C2 剱

Kokusai Electric株式会社

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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ステッパ「600シリーズ」

Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE) 

i線~ArFまで対応する1:4スキャナ

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「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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