半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

全面膜厚測定ユニット

株式会社ヒューテック

ウエハ全面の膜厚を高速測定可能な膜厚測定システム。秒間300,000ポイントをIn-Situ測定することで成膜条件や装置の異常を素早くフィードバック…

SCP-SX

株式会社SHINCRON

半導体・電子部品・PIC市場向けスパッタリング装置

［C-SAM］超音波顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

試料の内部にある剥離などの欠陥を非破壊で観察する手法です。

カールフィッシャー滴定法

財団法人材料科学技術振興財団

カールフィッシャー滴定法は化学反応を利用して試料中の水分を定量する手法です。

［HPLC］高速液体クロマトグラフ法

財団法人材料科学技術振興財団

液体中の成分を固定相と移動相の相互作用の差を利用し分離・検出する手法です。

［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法

財団法人材料科学技術振興財団

分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。

［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法

財団法人材料科学技術振興財団

電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。

［SIMS］二次イオン質量分析法

財団法人材料科学技術振興財団

イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。

［XPS］X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関す…

［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。