ウェーハの製品一覧

ウェーハ搬送装置

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハカセットチェンジャー

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

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TTJ-10

川崎重工業株式会社

(テレスコピック機構採用)4軸構造水平多関節シングルアーム・ウェーハハンドリングロボット

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DI4600

株式会社日立ハイテク

高性能暗視野式ウェーハ欠陥検査装置

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DFG8560

株式会社ディスコ

定評あるグラインダ仕様を踏襲。ウェーハの進化を支えて、より薄く、大口径へ

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IMPHEAT/IMPHEATⅡ

日新イオン機器株式会社

SiCウェーハ向け高温Alイオン注入装置

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DFL7341

株式会社ディスコ

8インチウェーハ対応全自動レーザーソー

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CDWX

村田機械株式会社

ベアウェーハを清浄度を保ちながら保管するストッカ

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SiCウェーハ

Coherent, Inc.

応用市場が拡大し、益々注目されるSiC

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