ガスの製品一覧

ALDプロセス用バルブ「TDFシリーズ」

株式会社キッツエスシーティー

TDFシリーズは、ALD(原子層堆積)プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた、高純度ガス対応のバルブです。

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角型真空ゲートバルブ UXG/LG

株式会社キッツエスシーティー

高温、高い均熱性能を特長としたバルブ

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サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series

株式会社堀場エステック

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。

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SEC-Z500Xシリーズ

株式会社堀場エステック

ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル…

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