半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

真空環境におけるアウトガス分析

株式会社住化分析センター

『真空環境下で材料から発生するアウトガスを定性・定量』

ESA型

株式会社荏原製作所

ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回…

EST型

株式会社荏原製作所

EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付…

湿式排ガス処理装置 G-WS型

株式会社荏原製作所

水溶性ガスを使用するプロセスに最適化された湿式排ガス処理装置

圧力制御用バルブPCAシリーズ

株式会社キッツエスシーティー

独自機構による封止方式を採用した、封止・スロー排気・調圧が1台で可能な高耐久APCバタフライバルブ

ALDプロセス用バルブ「TDFシリーズ」

株式会社キッツエスシーティー

TDFシリーズは、ALD（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた、高純度ガス対応のバルブです。

角型真空ゲートバルブ　UXG/LG

株式会社キッツエスシーティー

高温、高い均熱性能を特長としたバルブ

サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series

株式会社堀場エステック

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。

SEC-Z500Xシリーズ

株式会社堀場エステック

ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル…