洗浄装置の製品一覧

EVGR320 D2W

EV Group

直接配置式ダイ・トゥ・ウェーハ(D2W)接合向け業界初の商用ハイブリッド接合用活性化・洗浄装置

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裏面洗浄装置「SB-3300」

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

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スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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【特許技術】配管自動切換装置(マルチタイプ)

ナブテスコサービス株式会社

【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。

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8インチ対応洗浄装置

芝浦メカトロニクス株式会社

様々な要求に対応可能な装置

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WS-620C/ WS-820L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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FC-821L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

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CW2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置

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CW1500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

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