洗浄装置の製品一覧
裏面洗浄装置「SB-3300」
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ
スピンスクラバSS-3300S
16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現
【特許技術】配管自動切換装置(マルチタイプ)
ナブテスコサービス株式会社
【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。
8インチ対応洗浄装置
芝浦メカトロニクス株式会社
様々な要求に対応可能な装置
WS-620C/ WS-820L
ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム
FC-3100
最適な洗浄プロセスに応える進化形
FC-821L
ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置
CW2000
フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置
CW1500
省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置
SU-3300
SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集
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