CVD装置の製品一覧
CC-200/400
株式会社アルバック
ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。
CME-200/400
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。
CMDシリーズ
CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。
Sonaer社製超音波スプレーノズル
ティックコーポレーション株式会社
ふわっと塗布して塗着効率アップ！
CENTURA ULTIMA HDP-CVD
Applied Materials,Inc
数世代にわたって実用性が証明された、業界をリードするCVD装置
Dragon XP8
ASM International NV
8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD
VECTOR Family
Lam Research
高生産性と低コストを維持しながらも、幅広いプロセスアプリケーションに対応出来る柔軟性を持ったプラズマCVD装置
Reliant Deposition
MEMS、パワーチップ、RFフィルタ、CMOSイメージセンサー等の新分野にも対応したプラズマCVD装置
Centura DxZ CVD
先進のMEMS、パワーデバイス、パッケージング市場での製造を支援する200mmウェーハ対応プラズマCVD装置
A412 PLUS／A400
A412：300mmウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置 A400：200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置
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株式会社 サムコ
当社は、半導体等電子部品製造装置の製造及び販売を行っております。当社は全半導体製造装置市場の数パーセント程度の市場ですが成長が期待でき…
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