半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

プラズマALD装置 AD-230LP（SEMICON Japan 2020 Virtual出展）

株式会社サムコ

電子デバイスの絶縁膜、パッシベーション膜に

新型高速レビューSEM「CR7300」（MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展）

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…

欠陥形状評価SEM 「CT1000」（MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）

株式会社日立ハイテク

、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…

プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会

公益社団法人精密工学会

プラナリゼーションCMPとその応用技術の発展を目指す

SEMISTAR-M101

株式会社安川電機

3軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

SEMISTAR-M201

株式会社安川電機

4軸水平多関節双腕ウェーハハンドリングロボット

SEMISTAR-M112

株式会社安川電機

4軸水平多関節先端回転軸付き単腕ウェーハハンドリングロボット

SEMISTAR-M122

株式会社安川電機

2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕クリーンロボット

SEMISTAR-M124

株式会社安川電機

2ブレード先端回転軸付き5軸 水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

SEMISTAR-MR124

株式会社安川電機

2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット