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プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会

プラナリゼーションCMPとその応用技術の発展を目指す

本専門委員会は、超精密加工技術を駆使したプラナリゼーションCMPとその応用技術を軸に、
 ①産業・研究のグローバル化
 ②先端半導体デバイスの高集積化
 ③応用分野の多様化
 ④加工技術のサイエンス化
 ⑤人材の育成
 の5つの観点から、会員に情報交流と討論の場を提供し、相互連携を深めることにより、技術、学術、ならびに産業の発展に寄与することを目的としています。
 また、本分野の国際会議であるICPT (International Conference on Planarization/CMP Technology)における国内運営委員会の役割を果たし、本分野の世界的な発展に貢献するものとします。

基本情報

委員会活動
・研究会(2020年7月に第182回を開催)
・サマーキャンプ(2006~2019年、2020年は中止)
・国際会議(ICPT 2004~2019)

所在地
本部:〒819-0395 福岡市西区元岡744
  九州大学 大学院工学研究院機械工学部門 加工プロセス講座内

事務局:〒104-0043 東京都中央区湊1-2-10 堀川ビル3F
  グローバルネット株式会社
  TEL:03-5117-2225, FAX:03-5117-2223
  事務局長:武野泰彦, 担当:三上博子

お問い合わせ

取扱企業

公益社団法人精密工学会

業種:公益・特殊・独立行政法人  所在地:東京都 中央地区 1-2-10 堀川ビル6F(「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」事務局)

プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会

公益社団法人精密工学会の本専門委員会として活動している

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