大型基板対応したいの製品一覧

【請負】半導体プロセスエンジニアリングサービス
アットフィールズテクノロジー株式会社

注目

経験豊富な半導体プロセス技術者をお客様の課題に応じてタイムリーにチーム化し、お客様課題解決に向けた現場サービスを提供します。 20年以上…

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ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)

PHT株式会社

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

PHT株式会社

ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

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EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

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枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送装置

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハカセットチェンジャー

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

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Sonosys社 超音波洗浄装置 (枚葉洗浄)

ティックコーポレーション株式会社

半導体や基板の洗浄の問題を解決します

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【実装精度±0.5μm】SET社 超高精度フリップチップボンダー

丸文株式会社

SET社は1975年の設立以来、半導体産業向けの様々な先進的な機器を開発、製造してきました。1981年以降フリップチップボンダーとナノインプリント…

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