大型基板対応したいの製品一覧
3軸円筒座標型クリーンロボット
PHT株式会社
ガラス基板対応
3軸クリーンロボット
3軸 伸縮・旋回・上下 3軸クリーンロボット
キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501
次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…
SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置
本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…
精密研磨装置 MAシリーズ
ムサシノ電子株式会社
試料ホルダーを用いて最適な研磨加工をご提案致します。 研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP…
複合ウェーハ
株式会社豊港
豊港化学では、複合ウェーハなどの製品を取り扱っております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/composit…
ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
EFEM・ソータ
クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置
キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
関連用語
関連特集
「大型基板対応したい」の関連企業一覧
アットフィールズテクノロジー 株式会社
私たちアットフィールズテクノロジー株式会社は、西暦2000年に設立。システム環境構築から運用まで、工場のスマート化をフルサポートするエンジ…
丸文 株式会社
丸文は最先端の半導体や電子部品、電子応用機器を取り扱うエレクトロニクス商社です。1844年に創業し、現在はエレクトロニクス市場を事業領域と…
ムサシノ電子 株式会社
弊社では長年にわたり精密加工に最適な研磨装置や切断機(ダイヤモンドワイヤーソー、ブレードソー)、スクライバーなどを製造してきました。特…
関連企業一覧
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