ステッパの製品一覧

i 線ステッパーによる100 nm 級AlGaN/GaN デュアルゲートHEMT の作製
グローバルネット株式会社

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名大、安藤 裕二

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1.36 A, 1 kV 耐圧 β-Ga2O3 double-implanted MOS トランジスタ
グローバルネット株式会社

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ノベルクリスタルテクノロジー、宮本 広信

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先端半導体パッケージに向けたダイレクト露光技術の拡張と革新
グローバルネット株式会社

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オーク製作所、矢島 英樹

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世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2022
グローバルネット株式会社

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あらゆる半導体製造装置および試験/検査装置の企業シェアが地域別に分かる!

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レチクル

東洋精密工業株式会社

ステッパー露光装置用レチクルです。(9インチまで可!)

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ステッパ「600シリーズ」

Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE) 

i線~ArFまで対応する1:4スキャナ

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