カテゴリー
- 真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)
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- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
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- ターボ分子ポンプ
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- ヒータ(蒸着装置向け)
- サセプタ(半導体にも追加)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
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- 薬液用ポンプ
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- EUVレジスト/現像液
- ターゲット材
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- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート(パッケージ基板)/インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング/ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板(液晶)
- ガラス基板(OLED用)
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材(カラーレジスト/顔料)、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料(SiO2):CVDガス材料、ポリイミド(樹脂)
- 液晶材料
- スペーサ材料(シリコン球)
- シール(封止)材(接着剤)/メインシール材/仮接着剤
- 液晶注入口封止材(紫外線硬化樹脂材料)
- 偏光フィルム
- 基板(仮配置基板)
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材(有機膜)
- 正孔輸送層材(有機膜)
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料(蒸着用)
- 蒸着材料
i 線ステッパーによる100 nm 級AlGaN/GaN デュアルゲートHEMT の作製
基本情報
Beyond 5G/6G通信システム向けのテラヘルツ電力増幅器において、GaN-HEMTは高電圧動作が可能であり、微細化されたゲート長でも優れた性能を発揮することが期待されている。しかし、現状ではGaN-HEMTの最大発振周波数(fmax)は600 GHz以下であり、テラヘルツ帯での電力利得は十分ではないため、本研究ではfmaxに近い高周波数域で利得性能を向上させるためのGaNデュアルゲートHEMTを開発した。このデバイスは、ゲート・ドレイン間容量間容量(Cgd)を低減し、電流利得遮断周波数(fT)を50 GHzから53 GHzに、fmaxを150 GHzから240 GHzに向上させた。これは、Cgdとドレインコンダクタンス(gds)の改善によるものである。デュアルゲート構造はテラヘルツ帯でのGaN-HEMTの性能向上に寄与する可能性があることを示している。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種:産業用電気機器 所在地:東京都 中央区港 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社(GNC)は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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