ドライエッチングの製品一覧
二次元電子ガスを有さない薄層AlGaN/GaNヘテロ構造へのオーミック接触に対する多端子ホール測定
グローバルネット株式会社
アドバンテスト研究所、瓜生 和也
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EID AlGaN/GaN MOS-HEMT のゲート電極直下の電子状態解析
グローバルネット株式会社
三菱電機、南條 拓真
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AI・IoT 時代に向けた 3D ・チップレット集積技術の開発
グローバルネット株式会社
アルバック、森川 泰宏
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ミニマルメタルエッチングプロセスの開発と特性評価
グローバルネット株式会社
産総研、田中 宏幸
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ウエハ・基板加工ファウンドリー
グローバルネット株式会社
お客様の細かいご要望にお応えし、多種多様な加工ウエハを提供します！
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ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…
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