半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

UTM-FH/FWシリーズ

株式会社アルバック

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…

Spartan Sorter

Brooks Automation Inc.

高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHT株式会社

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

PHT株式会社

ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

ソリッドステートマイクロ波電源『300W』

東京計器株式会社

研究室での実験等に気軽に使用できるよう、冷却は空冷方式になり、ポータブルタイプで一人でも持ち運びができるようになっている。

枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

ウェーハ搬送装置

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

ウェーハカセットチェンジャー

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。