半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

LSシリーズ

株式会社日立ハイテク

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは，パターンなし（鏡面）シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

ISシリーズ

株式会社日立ハイテク

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

サーフェイス型エアスライダステージ

株式会社モーショントラスト

超精密モデル（用途：半導体用小ストローク検査装置向け）

SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

ENDURA ALPSR PVD (ALPS CO & NI)

Applied Materials,Inc

高アスペクト比のゲートやコンタクトアプリケーション向けに、シンプルかつ高性能なシリサイドソリューションを提供します。

「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

「ACTIS A150」

レーザーテック株式会社

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

新型高速レビューSEM「CR7300」（MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展）

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…

欠陥形状評価SEM 「CT1000」（MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）

株式会社日立ハイテク

、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…

ZI-3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

loT向け電子デバイスに対応したパターン付きウェーハ外観検査装置