検査の製品一覧

ボンディングWaferズレ検査装置

株式会社清和光学製作所

【概要】 両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。 表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。 また、…

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AMOLED 製造工程レポート ver.4

分析工房株式会社

『AMOLED製造工程レポート』はAMOLEDを中小型パネルと大型パネルに分けて構造と製造工程を分析しており、さらに中小型AMOLEDの検査工程も図式化…

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ウェーハ外観検査装置INSPECTRAシリーズ

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社

半導体製造の前工程から後工程まで『ハイスピード』『ハイスペック』でウェーハの全数自動検査の要求にお応えします。

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Mirelis VM1000

株式会社日立ハイテク

SiCウェーハの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現したミラー電子式検査装置

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LSシリーズ

株式会社日立ハイテク

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは,パターンなし(鏡面)シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

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ISシリーズ

株式会社日立ハイテク

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

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サーフェイス型エアスライダステージ

株式会社モーショントラスト

超精密モデル(用途:半導体用小ストローク検査装置向け)

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SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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ENDURA ALPSR PVD (ALPS CO & NI)

Applied Materials,Inc

高アスペクト比のゲートやコンタクトアプリケーション向けに、シンプルかつ高性能なシリサイドソリューションを提供します。

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「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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