検査の製品一覧

ウェーハ外観検査装置INSPECTRAシリーズ

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社

半導体製造の前工程から後工程まで『ハイスピード』『ハイスペック』でウェーハの全数自動検査の要求にお応えします。

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Mirelis VM1000

株式会社日立ハイテク

SiCウェーハの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現したミラー電子式検査装置

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LSシリーズ

株式会社日立ハイテク

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは,パターンなし(鏡面)シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

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ISシリーズ

株式会社日立ハイテク

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

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サーフェイス型エアスライダステージ

株式会社モーショントラスト

超精密モデル(用途:半導体用小ストローク検査装置向け)

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SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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ENDURA ALPSR PVD (ALPS CO & NI)

Applied Materials,Inc

高アスペクト比のゲートやコンタクトアプリケーション向けに、シンプルかつ高性能なシリサイドソリューションを提供します。

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「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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「ACTIS A150」

レーザーテック株式会社

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

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新型高速レビューSEM「CR7300」(MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…

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