酸化の製品一覧

Harrier-L

Eugene Technology

バッチ式高生産性LPCVD/プラズマALDプロセス対応装置

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縦型熱処理装置AVP/RVP/RVP-30

SPPテクノロジーズ株式会社

子会社SPT Microtechnologies USA社製品

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300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900

ジェイテクトサーモシステム株式会社

シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…

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原子拡散接合装置 BC7000(SEMICON Japan 2020 Virtual出展:新製品)

キヤノンアネルバ株式会社

常温接合で未来を拓く!

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RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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CMDシリーズ

株式会社アルバック

CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。

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