半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

ESA型

株式会社荏原製作所

ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回…

EST型

株式会社荏原製作所

EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付…

A412 PLUS／A400

ASM International NV

A412：300mmウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置 A400：200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置

Harrier-L

Eugene Technology

バッチ式高生産性LPCVD／プラズマALDプロセス対応装置

300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900

ジェイテクトサーモシステム株式会社

シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…

PECVD装置NF-300H

Piotech

新世代の3次元フラッシュメモリチップ（3D NAND）に応用した国産初のプラズマCVD装置

PECVD装置PF-300T

Piotech

当社が独自に開発した100％知的財産権を有している300mm対応PECVD装置

Prismo D-BLUE®

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

LEDエピタキシャルウェーハの大量生産のためにLED生産ラインに採用された国内最初のMOCVD装置