CVDの製品一覧

GaN 自立基板上に作製したmist-Al2O3/n-GaN 構造の評価
グローバルネット株式会社

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熊本大、谷田部 然治

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MEMS デバイス適用へ向けた極厚膜低ストレスLPCVD Poly-Si 膜の膜厚方向の電気抵抗評価
グローバルネット株式会社

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株式会社KOKUSAI ELECTRIC、鋪田 嚴

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酸化抑制プロセスによる高濃度ボディ層を有するSiC(0001)
グローバルネット株式会社

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京大、立木 馨大

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低温ハイブリッド接合応用に向けたSiCN 膜の界面特性解析
グローバルネット株式会社

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横浜国大、佐藤 亮輔

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100 GHz 帯1 W級GaN パワーアンプMMIC の開発
グローバルネット株式会社

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富士通、熊崎 祐介

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ウエハ・基板加工ファウンドリー
グローバルネット株式会社

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お客様の細かいご要望にお応えし、多種多様な加工ウエハを提供します！

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LR/HR/UR シリーズ

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

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CC-200/400

株式会社アルバック

ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。

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CME-200/400

株式会社アルバック

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

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CMDシリーズ

株式会社アルバック

CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。

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株式会社 サムコ


当社は、半導体等電子部品製造装置の製造及び販売を行っております。当社は全半導体製造装置市場の数パーセント程度の市場ですが成長が期待でき…

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JADE Bird Display


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株式会社 九州セミコンダクターKAW


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