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- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
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- マスフローコントローラ
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- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
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- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
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- パッドコンディショナ
- 洗浄液
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- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
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- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
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- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
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- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
100 GHz 帯1 W級GaN パワーアンプMMIC の開発
富士通、熊崎 祐介
GaN
基本情報
Beyond 5G/6G通信のために、サブテラヘルツ波（90GHz以上）の利用が検討されており、これには高出力パワーアンプが必要である。本研究では、100GHz帯で1W以上の出力を持つGaNパワーアンプMMICの開発に成功した。SiC基板上に複数の層を結晶成長させ、高濃度n型GaN低抵抗層を形成し、Ti/AlとNi/Auを蒸着して電極を作製した。SiNxのパッシベーション層をPE-CVDで成膜し、pre-SAGとpost-SAG passivationを施した。これによりオン電流の向上、オン抵抗の低減、電流変動の抑制が達成された。3段2並列のパワーアンプMMICは、15Vで最大17.1%のPAEと0.76Wの出力電力、20Vで最大14.3%の効率と1.0Wの出力電力を実現した。最終段トランジスタのドレイン効率は30%以上であり、トランジスタとMMICの回路構成の改善により、さらなるパワー特性の向上が期待され、この技術は超大容量通信を実現するための重要なステップである。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 港区中央 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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