スループットの製品一覧
Freedomシリーズ
平田機工株式会社
実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM/ソータ
UFP600AS
株式会社荏原製作所
高スループット、高速めっきと優れた面内均一性の両立を実現しためっき装置
Purion-H
Axcelis Technology
多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置
メモリ・テスト・システム「T5835」
株式会社アドバンテスト
DRAMおよびNANDフラッシュの高速テストのスループット向上とテスト・コスト削減を可能にする
DT-3000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム
スピンスクラバSS-3300S
16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現
RR481L300
ローツェ株式会社
超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット
RR751L15
大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン
RR757L15
大気ロボット:スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル
RR481L200
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