スループットの製品一覧

Freedomシリーズ

平田機工株式会社

実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM/ソータ

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UFP600AS

株式会社荏原製作所

高スループット、高速めっきと優れた面内均一性の両立を実現しためっき装置

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Purion-H

Axcelis Technology

多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置

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メモリ・テスト・システム「T5835」

株式会社アドバンテスト

DRAMおよびNANDフラッシュの高速テストのスループット向上とテスト・コスト削減を可能にする

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DT-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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RR481L300

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR751L15

ローツェ株式会社

大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン

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RR757L15

ローツェ株式会社

大気ロボット:スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル

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RR481L200

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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