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ISシリーズ

株式会社日立ハイテク

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

「ACTIS A150」

レーザーテック株式会社

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

新型高速レビューSEM「CR7300」（MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展）

株式会社日立ハイテク

新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…

欠陥形状評価SEM 「CT1000」（MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）

株式会社日立ハイテク

、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…