熱処理の製品一覧
低温ハイブリッド接合応用に向けたSiCN 膜の界面特性解析
グローバルネット株式会社
横浜国大、佐藤 亮輔
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多結晶Ge 系IV 族半導体薄膜の電気的特性制御
グローバルネット株式会社
筑波大、野沢 公暉
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EID AlGaN/GaN MOS-HEMT のゲート電極直下の電子状態解析
グローバルネット株式会社
三菱電機、南條 拓真
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Ni 超薄膜へのSiH4 照射によるシリサイド化反応制御
グローバルネット株式会社
名大、谷田 駿
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高温熱処理がn-GaN ショットキーバリアダイオードの電流-電圧特性に与える影響
グローバルネット株式会社
名大、權 熊
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Ti/Au 積層電気金めっき錘の反り変形の熱処理温度依存性評価
グローバルネット株式会社
東工大、森 達彦
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300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900
シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…
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