カテゴリー

Ti/Au 積層電気金めっき錘の反り変形の熱処理温度依存性評価

グローバルネット株式会社
最終更新日: 2024年08月29日

東工大、森 達彦

メムス

基本情報

 近年 金材料のMEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)加速度センサへの応用が注目されている。高質量密度の金材料は、錘質量に反比例するブラウニアンノイズを抑制し、MEMS加速度センサの小型化と高感度化に寄与する。一方でMEMS加速度センサに搭載されるTi/Au積層電気金めっき錘は、チタンと金の熱膨張係数の違いから製作過程の熱処理により錘の角部分が反り変形することがある。この反り変形はMEMS加速度センサの検出精度を低下させるため、錘の構造設計に注意が必要である。本研究では、異なる温度で段階的に熱処理を行い、錘の反り変形と熱処理温度の関係を調査した。その結果、150℃以上の熱処理において、熱処理温度の増加に伴い錘の反り変形が大きくなることが明らかになった。

お問い合わせ

取扱企業

グローバルネット株式会社

業種:産業用電気機器  所在地:東京都 中央区湊 1-2-10 堀川ビル6F

必要な情報をタイムリーに届けたい

グローバルネット株式会社(GNC)は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。

Ti/Au 積層電気金めっき錘の反り変形の熱処理温度依存性評価 へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。


ご依頼目的 必須

ご要望 必須

お問い合わせ ご意見等


※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。

Ti/Au 積層電気金めっき錘の反り変形の熱処理温度依存性評価