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- エッチングガス
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- 接着剤 接着テープ
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- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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Ti/Au 積層電気金めっき錘の反り変形の熱処理温度依存性評価
東工大、森 達彦
MEMS
基本情報
近年 金材料のMEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）加速度センサへの応用が注目されている。高質量密度の金材料は、錘質量に反比例するブラウニアンノイズを抑制し、MEMS加速度センサの小型化と高感度化に寄与する。一方でMEMS加速度センサに搭載されるTi/Au積層電気金めっき錘は、チタンと金の熱膨張係数の違いから製作過程の熱処理により錘の角部分が反り変形することがある。この反り変形はMEMS加速度センサの検出精度を低下させるため、錘の構造設計に注意が必要である。本研究では、異なる温度で段階的に熱処理を行い、錘の反り変形と熱処理温度の関係を調査した。その結果、150℃以上の熱処理において、熱処理温度の増加に伴い錘の反り変形が大きくなることが明らかになった。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 中央区港 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
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